三、潔凈室的節(jié)能技術方案 

潔凈室是能量消耗大戶，這是因為要保持潔凈的生產環(huán)境所必需的空氣潔凈等級、壓差、溫度、相對濕度要求；防止污染的交叉污染，潔凈室內應根據(jù)產品的生產過程的要求排除生產過程中產生的粉塵、熱量、有機溶劑等所需的全室或局部排風裝置，與此同時需向潔凈室內送入相應的或必需的室外新鮮空氣；根據(jù)不同的空氣潔凈度等級的要求需要有必須的換氣次數(shù)和送風量。

據(jù)調查統(tǒng)計，大規(guī)模集成電路制造工廠潔凈廠房的凈化空調系統(tǒng)及其制冷機的耗電量約占工廠總耗電量的50%左右。

如上所述，潔凈廠房的耗能量是很大的，若潔凈室精心設計，周密規(guī)劃，節(jié)約能源、降低能量消耗也是可能的，節(jié)能的潛在容量不小。

針對潔凈室、凈化空調系統(tǒng)的運行節(jié)能問題，可以有以下幾個解決方案：

1、潔凈廠房內的工藝平面布置

盡可能采用潔凈小室、潔凈工作臺、層流罩、潔凈隧道、微環(huán)境等方式，降低別潔凈室面積，是減少能量消耗、節(jié)約能源的可行措施。證明，與傳統(tǒng)生產環(huán)境相比，微環(huán)境潔凈廠房的投資可節(jié)省40%，單單空氣輸送的費用可節(jié)省70%。

2、在進行建筑平面、立面設計時，應努力貫徹節(jié)能要求

潔凈廠房的門窗設計的恰當與否，是降低潔凈廠房建筑能耗的重要課題。這里先是控制好窗墻比，按潔凈室的特點盡量減少外墻上的窗面積，其次是門窗構造的氣密性要求和材料選擇可靠，以確保門窗的保溫（冷）效果和減少冷風滲透，防止“冷橋”現(xiàn)象的發(fā)生。

3、降低潔凈室的熱（冷）負荷的技術措施

（1）根據(jù)產品生產工藝要求，確定合適的潔凈室內空氣潔凈等級和溫度、相對濕度參數(shù)，在滿足生產工藝的前提下，從節(jié)約能源的角度出發(fā)，按不同工序和房間的不同要求確定空氣潔凈度等級、溫度、相對濕度參數(shù)，可能就低時盡可能采用較低的取值。

（2）在產品生產工藝者的密切配合下，地確定潔凈室需設排風裝置的房間或工序或生產設備的排風量，這是由于潔凈室內排風量的增加，即意味著凈化空調系統(tǒng)的補充新風量增加。廠房設計中有時會出現(xiàn)由于排風量的增加使凈化空調系統(tǒng)的新風量大于規(guī)定的新鮮空氣需用量，從而使設計的熱（冷）負荷增加，因此，地確定潔凈室內排風量是降低能量消耗的重要技術措施之一。

4、減少凈化空調系統(tǒng)的送風量和降低系統(tǒng)阻力的技術措施

（1）按生產工藝要求的不同空氣潔凈度等級和不同的工作時間、班次合理劃分凈化空調系統(tǒng)。但在制訂方案時應認真考慮減少管線長度，降低風管阻力所必需采取的技術措施，做到既降低用電量又不能增加較多的建造費用。

（2）合理組織凈化空調系統(tǒng)中各種空氣過濾器的設置，對較大型的潔凈廠房的凈化空調系統(tǒng)的新風集中大小控制送風量等。

（3）凈化空調系統(tǒng)設計應合理利用回風。在產品生產過程不產生有害物或不發(fā)生交叉污染時，凈化空調系統(tǒng)在保證新鮮空氣量和保持潔凈室規(guī)定的壓差值的條件下，為了減少能量消耗，應盡量利用回風。對于換氣次數(shù)大的單向流潔凈室，當空調機房距單向流潔凈室較遠時，可以采用一部分空氣不回機房而直接循環(huán)使用，可使能量消耗降低。

5、合理進行凈化空調系統(tǒng)的風管設計

風管布置時應盡量縮短風管長度，減少不必要彎管、附件的設置，簡化風管形狀，努力降低風管系統(tǒng)的阻力，以減少能量消耗。

6、采用變流量控制風量、水量

（1）根據(jù)檢測得到的潔凈室內的塵粒數(shù)量，或房間壓力值控制調節(jié)送風量。采用技術措施，有效的控制不工作的生產工序或房間的低送風量。

（2）根據(jù)生產過程的特點，設置檢測、控制房間或設備的排風裝置，按需要控制排風量或開停排風機或排風閥。避免房間或設備不生產時仍開啟排風機或排風閥，消耗電能和增加不必要的送風量。

（3）風機、水泵合理的采用變頻機組，根據(jù)送風量、供水量的多少，改變風機、水泵的轉速，降低電能消耗。

（4）凈化空調系統(tǒng)的空調機組采用冷水量、熱水量或蒸汽量的變頻控制。 

四、結語 

本文涉及了空氣潔凈技術中的污染控制方案、方案以及節(jié)能方案三方面的內容。我國空氣潔凈技術發(fā)展自60年代開始以來，目前已具各了相當?shù)膶嵙?，在某些理論和應用方面已達到了水平。在生活現(xiàn)代化的同時，我們要重視室內空氣的品質。通過減少污染、通風、空氣凈化、消毒、空氣成分的調節(jié)與控制等措施，可減少室內空氣污染，減少疾病，提高人們的生活質量。

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