技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES潔凈室的定義:將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。 由以上之定義,我們可知構(gòu)成潔凈室須俱備以下各項(xiàng)因素:
1 .能除去空氣中飄游之微塵粒子?! ?/span>
2 .能防止微塵粒子之產(chǎn)生?! ?/span>
3 .溫度和濕度之控制。
4 .壓力之調(diào)節(jié)?! ?/span>
5 .有害氣體之排除?! ?/span>
6 .結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性?! ?/span>
7 .靜電之防制。
8 .電磁干擾之預(yù)防。
9 .安全因素之考慮?! ?/span>
10.節(jié)能之考量。
FFU在使用壽命及維護(hù)上已經(jīng)實(shí)踐證明無可擔(dān)心。當(dāng)前其改進(jìn)主要是:
(1)取均流及減少噪音的措施,噪音可在50db以內(nèi);
(2)動(dòng)機(jī)采用DC/EC(電子整流電機(jī)),以耗較原交流電機(jī)節(jié)約近50%,因?yàn)樾★L(fēng)機(jī)所用小容量(功率<1P)的交流電機(jī),一般皆為電容分相式或隱式,其效率僅40%左右,而DC/EC電機(jī)的效率可達(dá)75%~80%;在調(diào)速控制上可每臺(tái)單獨(dú)的以過濾器降壓進(jìn)行控制以節(jié)約能耗,但目前投資回收期尚長(zhǎng)而未廣泛采用,一般常用分組群控或全部群控。
(3)但FFU出口靜壓不能過大,一般采用出口風(fēng)速0.38m/s,此時(shí)其靜壓一般在250Pa以內(nèi)。
FFU回風(fēng)系統(tǒng)與其他方式相比的優(yōu)點(diǎn)
優(yōu)點(diǎn): (1)靈活性大,便于改造;
(2)占用建筑物空間較少;
(3)潔凈凈室內(nèi)空氣壓力大于回風(fēng)靜壓室,排除靜壓室對(duì)潔凈室污染的可能性。
缺點(diǎn): (1)要求回風(fēng)道全部阻力(包括多孔地板、格柵及風(fēng)道)、干表冷器阻力及末級(jí)過濾器的阻力(在初阻力時(shí)),總共應(yīng)控制在165Pa左右,以滿足運(yùn)行時(shí)阻力在250Pa以內(nèi)。因此干表冷器的傳熱面積要較大,回風(fēng)道尺寸亦要較大,多孔地板及格柵等的阻力要小,一般作法是:控制干表冷器阻力在50Pa左右,回風(fēng)道阻力在15Pa以內(nèi),否則就需要再增設(shè)加壓風(fēng)機(jī)系統(tǒng),這就是降低了FFU系統(tǒng)的綜合優(yōu)點(diǎn)。
(2)采用DC/EC電機(jī)后,單位風(fēng)量的能耗可能比當(dāng)前一般大型離心風(fēng)機(jī)的集中系統(tǒng)為低,但已有指出,比采用改進(jìn)后的大型軸流風(fēng)機(jī)的回風(fēng)系統(tǒng)的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風(fēng)機(jī)的效率提高及其系統(tǒng)的阻力降低的因素。
一般FFU系統(tǒng)由于單位風(fēng)量的能耗較大,因此潔凈室的冷負(fù)荷亦相應(yīng)增加。 具體情況下的評(píng)價(jià) FFU用于老建筑物改造成潔凈室時(shí),其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。
潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室,末級(jí)過濾器滿布率時(shí),對(duì)大的系統(tǒng)采用FFU,當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對(duì)小系統(tǒng)有意義作具體比較。 對(duì)潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室,末級(jí)過濾器滿布率≤40%時(shí)對(duì)大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多,但對(duì)IC工廠而言,FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的,因此當(dāng)前IC工廠對(duì)過濾器滿布率≤40%時(shí),采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。
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